產(chǎn)品信息

特　點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（第4834847號）

● 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實時測量膜厚

● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項目

多層膜厚解析

用　途

光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）

設(shè)備構(gòu)成

單點型

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

實時測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導(dǎo)線型

實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

設(shè)備構(gòu)成

單點型

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

實時測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導(dǎo)線型

實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

核心特點：

1. 微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

2. 跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

3. 安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實驗室研發(fā)需求。

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供